涡轮分子泵

ZYFB-3600涡轮分子泵
是靠高速转动的转子携带气体分子运动从而获得超高真空的一种机械式真空泵，是由动叶轮与静叶轮组合而成，比扩散泵节能、无油蒸汽污染，同时具有分子流时抽速大、压缩比高的特点，是目前国内大抽速的分子泵，动叶轮采用变截面加工，其强度增加重量减少，使分子泵性能更可靠、稳定。

 

ZYFB-3600涡轮分子泵

技术参数表

型号

ZYFB-3600   进气口法兰

400 ISO-K    排气口法兰

100 ISO-K

 

抽气速率(L/S)(对空气)  3600

压缩比

N2>108  H2>6X102

极限压强(Pa)<2×10-6

额定转速(rpm)12600

使用轴承

进口陶瓷轴承

振动值≤0.15μm

启动时间(min)<10

停机时间(min)<20

建议采用的前级泵（L／S）30

冷却方式     水冷

冷却水温度（℃）≤20

冷却水流量(L/min)1

泵体烘烤温度（℃）<80

环境温度（℃）5-40

安装方向

垂直±5°

泵重量(kg)≈100

 

ZYFB-3600涡轮分子泵

是靠高速转动的转子携带气体分子运动从而获得超高真空的一种机械式真空泵，是由动叶轮与静叶轮组合而成，比扩散泵节能、无油蒸汽污染，同时具有分子流时抽速大、压缩比高的特点，是目前国内大抽速的分子泵，动叶轮采用变截面加工，其强度增加重量减少，使分子泵性能更可靠、稳定。

此分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域。