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无锡冠亚恒温制冷技术有限公司>>元器件高低温测试装置>>蚀刻机用冷水机>>AES-4535光刻机用冷水机组的安装要求有哪些

光刻机用冷水机组的安装要求有哪些

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参考价 面议
具体成交价以合同协议为准
  • 型号 AES-4535
  • 品牌 其他品牌
  • 厂商性质 生产商
  • 所在地 无锡市

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更新时间:2021-03-25 14:08:42浏览次数:572

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产品简介

产地 国产 产品大小 小型
产品新旧 全新 结构类型 密封式,立式
结构类型 密封式,立式 温度 常温冷水机
元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中,IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度(-85℃至+ 250℃)下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。光刻机用冷水机组的安装要求有哪些

详细介绍

<strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong>

 型号AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
温度范围-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
温控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
温度转换时间-25℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -25℃
约20s
-45℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -45℃
约20s
-55℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -55℃
约15s
-70℃ to 150℃ 约10S
150℃to  -70℃
约20s
-80℃ to 150℃ 约11S
150℃to  -80℃
约20s
空气要求空气滤清器<5um
空气含油量:<0.1ppm
空气温湿度:5℃~32℃  0~50%RH
空气处理能力7m³/h ~ 25m³/h  压力5bar~7.6bar
系统压力显示制冷系统压力采用指针式压力表实现(高压、低压)
循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器西门子PLC,模糊PID控制算法
温度控制控制出风口温度
可编程可编制10条程序,每条程序可编制10段步骤
通信协议以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度(水冷设备有)
温度反馈T型温度传感器
压缩机法国泰康/艾默生
蒸发器套管式换热器
加热器法兰式桶状加热器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀)
操作面板无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏,温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护具有自我诊断功能;相序断相保护器、冷冻机过载保护;高压压力开关,过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂冠亚混合制冷剂
外接保温软管方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(风)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
风冷型采用铜管铝翅片冷凝方式,冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W带W型号为水冷型
水冷冷凝器板式换热器(务必确保冷却水清洁)
冷却水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
电源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
电源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质冷轧板喷塑 (标准颜色7035)
温度扩展高温到 +300℃

 

<strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong><strong><strong>蚀刻液冷却装置的类型和机油要求</strong></strong>

光刻机用冷水机组的安装要求有哪些

光刻机用冷水机组的安装要求有哪些

  为确保光刻机用冷水机组的靠谱及正常运行,防止不适当的水配管路施工造成的冷水机故障,安装本机组时应注意下列事项:

  光刻机用冷水机组的电源注意事项

  1光刻机用冷水机组电源采用三相四线、电源线接电源火线,接零线,(G)接地线。

  2光刻机用冷水机组用主电源线线电控箱上的穿孔连接在箱内接柱上,保证连接紧固。

  3机组配电要求:主电源电压:额定电压范围以内。

  4主电源电压波动超过规定范围时,不准起动冷水机、否则视作操作不当,由此引起的损坏不在本公司保养范围之内。

  5水系统之水流开关、水泵、冷却水塔电机等联锁电路必要时可正确连接在机组控制电路中。

  6光刻机用冷水机组设有电流过载保护、压缩机排气端之高低压保护,马达线圈过热保护、防冰保护,冷却水之水流连锁保护等多种措施,切勿擅自改动、如需改动请与厂家联络。

  光刻机用冷水机组的安装注意事项

  1吊运安装光刻机用冷水机组时注意不要损坏机组,合理布局光刻机用冷水机组周围空间,以方便维修保养光刻机用冷水机组。

  2按照对配管系统设计及施工安装的要求,合理设计和安装冻水及冷却水系统,以充分发挥光刻机用冷水机组性能。

  3机组应水平放置,及安装在通风位置。

  4根据机组制冷能力选用匹配的冷却塔。

  5机组配管请参照本公司建议之配管方法安装施工。

  6水源及散热水塔周围环境恶劣时,冷冻水和冷却水回路安装Y型过滤器及定时清理,封闭冷冻水系统高处安装自动排气阀、系统低处安装排水接头,以系统排水用。

7冷冻水管路系统通过试漏后,包保温层,避免冷量散失及管路滴水。

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