光刻机用低温冷水机组故障原因与排除

元器件高低温测试装置在用于恶劣环境的半导体电子元件的制造中，IC封装组装和工程和生产的测试阶段包括在温度（-85℃至+ 250℃）下的电子冷热测试和其他环境测试模拟。光刻机用低温冷水机组故障原因与排除

型号		AES-4535  AES-4535W	AES-6035  AES-6035W	AES-8035  AES-8035W	AES-A1035W	AES-A1235W
温度范围		-45℃～225℃	-60℃～225℃	-80℃～225℃	-100℃～225℃	-120℃～225℃
制冷量	-45℃	2.5kW
	-60℃		2kW
	-80℃			1.5kW
	-100℃				1.2kW
	-120℃					1.2kW
温控精度		±0.5℃	±0.5℃	±1℃	±1℃	±1℃
温度转换时间		-25℃ to 150℃ 约10S 150℃to  -25℃ 约20s	-45℃ to 150℃ 约10S 150℃to  -45℃ 约20s	-55℃ to 150℃ 约10S 150℃to  -55℃ 约15s	-70℃ to 150℃ 约10S 150℃to  -70℃ 约20s	-80℃ to 150℃ 约11S 150℃to  -80℃ 约20s
空气要求		空气滤清器<5um 空气含油量:<0.1ppm 空气温湿度：5℃～32℃  0～50%RH
空气处理能力		7m³/h ～ 25m³/h  压力5bar～7.6bar
系统压力显示		制冷系统压力采用指针式压力表实现（高压、低压） 循环系统压力采用压力传感器检测显示在触摸屏上
控制器		西门子PLC，模糊PID控制算法
温度控制		控制出风口温度
可编程		可编制10条程序，每条程序可编制10段步骤
通信协议		以太网接口TCP/IP协议
设备内部温度反馈		设备出口温度、制冷系统冷凝温度、环境温度、压缩机吸气温度、冷却水温度（水冷设备有）
温度反馈		T型温度传感器
压缩机		法国泰康/艾默生
蒸发器		套管式换热器
加热器		法兰式桶状加热器
制冷附件		丹佛斯/艾默生配件（干燥过滤器、油分离器、高低压保护器、膨胀阀、电磁阀）
操作面板		无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示EXCEL 数据导出
安全防护		具有自我诊断功能；相序断相保护器、冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种安全保障功能。
制冷剂		冠亚混合制冷剂
外接保温软管		方便外送保温软管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸（风）cm		54*69*132	54*69*132	75*73*133	80*120*185	100*150*185
外型尺寸（水）cm		54*69*132	54*69*132	75*73*133	70*100*175	80*120*185
风冷型		采用铜管铝翅片冷凝方式，冷凝风机采用德国EBM轴流风机
水冷型 W		带W型号为水冷型
水冷冷凝器		板式换热器（务必确保冷却水清洁）
冷却水量 at 25℃		0.6m³/h G3/8	1.2m³/h G3/4	1.6m³/h G1	2.6m³/h G1	3m³/h G1
电源 50HZ max		3.7kW 220V	5kW 220V	5kW 220V	6.8kW 220V	7.5kW 220V
电源		可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外壳材质		冷轧板喷塑 （标准颜色7035）
温度扩展		高温到 +300℃

 

光刻机用低温冷水机组故障原因与排除

光刻机用低温冷水机组故障原因与排除

　　1、制冷压缩机内无敲击声，压缩机正常运转，膨胀阀开度调节合适，运转中只有压缩机吸、排气声，不产生敲击或其它不正常声响。

　　2、压缩机各摩擦部位温度正常，无激热现象。压缩机各摩擦部位、轴承与轴颈接触良好，润滑正常，不产生超过环境温度。

　　3、曲轴箱油面处在正常位置，一般压缩机曲轴箱正常油面应在视油镜中间位置。如果是两个油镜，则正常油面应在上油镜的水平线上，但低不得低于下油镜水平线或见不到油位。另外，在压缩机运转过程中滑油不应起泡。

　　4、油压过低会造成各摩部件表面的干摩或卸载一能量调节机构动作迟缓；油压过高不但易损坏油泵轴、键及传动件，而且会使各摩擦面之间进油过多，增加摩擦阻力。。

　　5、压缩机无结霜现象，制冷系统工作过程中，压缩机回气管路结霜应属正常现象，但当操作不良或膨胀阀调整不当时，往往会造成压缩机气缸壁和机体结霜，严重时可能造成压缩机“液击”。

　　6、光刻机冷却循环水装置制冷系统各辅助设备处于正常工作状态，膨胀阀开度适当；各风机及电机运转平稳；水循环系统的水泵运转正常，无异常声响；水循环管路及各连接处无严重漏水现象；更重要的是制冷系统所有设备连接管路不允许有制冷剂泄漏现象。

　　7、光刻机冷却循环水装置制冷系统所有压力及温度指示正确，压力表、温度表指针稳定；高、低油压控制器调整适当，在所要求之压力数值范围内能起到自动控制和保护作用。

8、制冷系统正常工作时，其冷凝压力与冷凝温度，蒸发压力与蒸发温度呈对应关系。