SpectraRay/4:光谱椭偏测量/分析软件
SENDURO®全自动光谱椭偏仪包括基于测量处方的仅在几秒钟内即可完成的快速数据分析。椭圆仪的设计是为了便于操作：放置样品，自动样品对准，自动测量和分析结果。在全自动模式下使用光谱椭偏仪非常适合于质量控制和研发中的常规应用。
建模
测量参数可以模拟作为波长、光子能量、倒数厘米、入射角、时间、温度、薄膜厚度测量和其他参数的函数
自动扫描
我们光谱椭偏仪的自动扫描的选项具有预定义或用户定义的模式、广泛的统计以及数据的图形显示，如2D颜色、灰度、轮廓、+/-偏离平均值和3D绘图。
交互模式：
- 设定测量参数并开始薄膜厚度测量
- 通过从材料库或从已有的散射模型中拖放来构建模型
- 定义和改变参数以将计算的光谱与实测光谱拟合
- 交互式改进以实现模型
- 通过从预定义或定制的模板中进行选择，将结果作为word文档报告输出
- 将所有实验数据、协议和记录保存在同一个实验文件中
配方模式：
SpectraRay/4配方模式的优点是两步操作
- 选择和
- 从材料库执行预定义的配方。
该配方包括厚度测量参数、模型、拟合参数和报告模板。
SpectraRay/4，SENTECH所有的光谱椭偏测量软件，包括数据采集、建模、拟合和椭偏测量、反射和传输数据的扩展报告。它支持可变角度、多实验和组合光度测量。SpectraRay/4包括基于SENTECH厚度测量和文献数据的庞大的材料数据库。大量的散射模型允许对几乎任何类型的材料建模。
SpectraRay/4提供了用户友好的面向工作流的接口来操作SENTECH光谱椭偏测量工具以及建模、拟合和表示椭偏测量数据的综合工具集。用户界面结合了面向操作人员的配方模式以及用于交互式测量和建模的高级模式。
SpectraRay/4具有单轴和双轴各向异性材料测量、薄膜厚度测量和层测量的功能。该软件可处理样品效应，如去极化，非均匀性，散射(米勒矩阵)，以及背面反射。
SpectraRay/4包括用于数据导入和导出(包括ASCII)、文件管理、光谱的算术操作、显示、打印和报告输出(Word文件格式*.doc)的通用光谱椭偏测量软件包的所有实用程序。脚本程序使得它非常灵活，适用于自动化日常测量，为苛刻的应用所研发，并可控制第三方硬件，如传感器，加热台，样品电池或低温恒温器。
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